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产品系列
产品介绍
AVI系列产品是一款模块化,薄型化的主动隔振平台,可在六个自由度范围内实现亚赫兹振动隔离。安装过程简便,可节省实验场所和安装成本。产品分三个型号:AVI-200、AVI-400和AVI-600:
AVI-200有三种标准尺寸可供选择:AVI-200S,AVI-200M和AVI-200XL;
AVI-400有三种标准尺寸可供选择:AVI-400S,AVI-400M和AVI-400XL;
AVI-600有三种标准尺寸可供选择:AVI-600S,AVI-600M和AVI-600XL。
技术参数
AVI系列主动减震产品:
(1)主动隔振范围:0.5 Hz-200 Hz;
(2)2.5 Hz时95%隔振;
(3)5 Hz时99%隔振;
(4)10 Hz时99.5%隔振;
(5)隔振效果在20 Hz时99.8%。
主要特点
(1)隔离所有振动:隔离所有六种旋转和平移振动模式下的振动;
(2)业界**的低频隔离:主动隔离1至200 Hz(LFS系统为0.5 - 200 Hz);超过200 Hz的无源隔离;
(3)主动式>被动式:没有低频共振意味着0-5Hz之间的性能比无源系统好得多;
(4)**刚度和稳定性:比被动系统硬500倍,可提供出色的方向和位置稳定性;
(5)可扩展至任何仪器尺寸:模块式样允许系统适应特定的尺寸和负载,使其成为各种应用的理想选择;
(6)无缝安装和使用:小巧的设计使得AVI系列无需升降设备即可安装。
应用领域
使用AVI-200平台的常见应用包括:
(1)原子力显微镜;
(2)干涉仪;
(3)轮廓仪;
(4)摩擦学;
(5)高精度计量领域。
使用AVI-400/600平台的常见应用包括:
(1)SEM和TEM;
(2)超高真空扫描探针显微镜(UHV-SPM);
(3)光刻工具;
(4)高精度测量工具;
(5)光谱仪器。